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三氟化氮

名称/化学式:三氟化氮/NF3
包装规格:44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm):99.99%
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名称/化学式:三氟化氮/NF3
包装规格:44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm):99.99%


       三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。


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